2023年上半年，太和气体（荆州）有限公司总销售额1.2亿元，比2022年同期增长60%。增速为何如此耀眼？

今年，该公司乙硼烷实现量产、四氟化锗实现小批量生产，两种产品均被省经信厅列入《2022年度湖北省创新产品应用示范推荐目录》名单。该公司副总经理曾令侠说：“尤其是乙硼烷，占公司总销售量的50%以上，国内市场占有率排第一，全球市场占有率达25%。”

乙硼烷是一种用于半导体产品掺杂工艺的电子特气，也是增强半导体产品电学性质的关键元素，原先主要依靠国外进口。近年来，随着我国半导体产业规模持续扩大，该产品因稳定性弱、从海外运输不便，国产化进程迫在眉睫。太和气体瞄准产业发展机遇，2021年通过科技项目揭榜制，与三峡大学合作“基于5G芯片制造关键材料电子特气乙硼烷生产集成技术”项目，经两年攻关，成功提炼出99.999%的高纯度、高品质乙硼烷，攻克储运技术等难关，打破国外垄断，产品价格还比国外供应商低一半，赢得市场认可。去年下半年，该公司乙硼烷生产线投产，经过一系列试生产后，今年实现量产。

“乙硼烷实现量产后，我们与三星（西安）公司、中芯国际等15家国内外知名半导体公司合作，产品被广泛应用于国内5G和存储芯片制造。”曾令侠说，今年5月，该公司还与全球电子和化学制造领域的顶级工业气体供应商——美国液空公司合作，成为其乙硼烷供应企业。目前，公司乙硼烷新生产线已实现满负荷生产，上半年产量达3吨。

此外，该公司还与中核集团下属公司共同攻克了四氟化锗产品的纯度、丰度等技术难题。今年上半年，该产品已完成小批量生产，定点供应中核集团，用于高端芯片制造及国家重大尖端科研项目。曾令侠说：“虽然是一笔‘小订单’，但突破‘卡脖子’难题后，高端电子特气国产化的‘大市场’正徐徐打开。”

“下半年，我们还有后劲。”曾令侠介绍，溴化氢将冲刺量产，六氯乙硅烷、乙硅烷等新生产线投产计划也被提升日程，这些产品将加速半导体芯片蚀刻工艺和制程前驱体的国产化进程，量产后产值将增加8亿元。

站在办公室向南眺望，曾令侠指着不远处的新项目：“你看，二期项目已完成土建，各种设备也即将进场。项目投产后，还将新增四氯化铪等近20种电子特气产品，这些大部分为国内首次生产。”

（记者：黄思明 通讯员：曾凡溪）