春秋战国：职掌文献史籍的御史官已有明显的监察职能。魏国的李悝编著了我国历史上第一部较为完整的法典——《法经》。

秦：在中央设立御史大夫，御史府为其官署；皇帝派御史常驻郡县，称“监御史”。

汉：设御史台，中国历史上第一次出现了专门的监察机构。汉武帝时期将天下分为十三部监察区，由刺史代表皇帝对地方实行监察。

魏晋：御史台成为由皇帝领导的独立的监察机构，言谏监督得到发展。

隋：中央的监察机构仍为御史台，监察御史专执掌外出巡察。

唐：将御史台分为三院，即台院、殿院、察院。形成了监察机构和谏议组织两个系统。

宋：把监察官和言谏官合二为一，广泛推行弹劾制度，允许台谏官“风闻奏事”。

元：全国分为22道监察区，各设肃政廉访使常驻地方，监察各道所属地方官吏。

明：将御史台改为都察院。设六科给事中，对六部官员督察，向皇帝进行规谏。

清：沿袭明代，仍设督察院，以都御史为主事官。雍正年间，将六科给事中并入督察院，实现监察权的统一。